| 从真空室变形中分离带电粒子光学 |
| US14493589 2014-9-23 发明申请 |
| 2016-3-24 |
| 一种带电粒子处理设备，包括真空室、光学板、安装在光学板上的带电粒子光学器件、以及耦合在光学板和室壁之间的安装构件。 安装构件构造成用于将光学板与腔室壁的变形隔离，这可能由于腔室内部和腔室外部环境之间的压差而发生。 隔离可以防止变形影响带电粒子光学器件的对准和定位。 带电粒子可以是例如离子或电子。 因此，该设备可以例如用于分析仪器中，例如用于质谱分析，或者用于检查仪器中，例如用于电子显微镜。 |
微信公众号