真空装置及质谱仪
 
WOJP18044581  2018-12-4  发明申请

2019-10-3
 
  在该质谱仪中,第一室和第二室通过开口连通。 当闭合部分34由于第一位移机构和第二位移机构的作用而朝向开口51移动时,触点38随着闭合部分34朝向开口51移动。 然后,开口51由关闭部分34关闭。 由于开口51被关闭,第二室中的开口被关闭。 触点38与电极5接触。 检测单元40检测触点38的电压或电流的变化。 因此,仅通过检测单元40检测电压或电流的变化就可以检测开口201的关闭状态。
 
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