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一种适用于二次离子质谱仪分析的矿石矿物的样品靶的制备方法

CN201710520161.7 2017-6-30 发明授权

2019-9-27

本发明公开了一种适用于二次离子质谱仪分析的矿石矿物的样品靶的制备方法，采用合金材料替代了环氧树脂，制靶材料硬度适中，适合打磨和抛光，能有效的解决环氧树脂在高真空环境中“释气”、铟靶对小颗粒单矿物难以压制，难以进行打磨抛光等问题。