| 一种质谱仪 |
| CN201920295017.2 2019-3-8 实用新型 |
| 2019-9-27 |
| 一种质谱仪，包括依次连接的、内部均为真空状态的离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室，离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室内分别设有离子源、质量分析器、检测器，离子源和质量分析器通过离子光学系统连接，质量分析器外部设有电极，质量分析器腔室和检测器腔室之间通过仅电子能穿过的薄膜间隔。本实用新型利用薄膜实现质量分析器和检测器的工作气压的差异化，可以降低真空泵的负载，检测器的低工作气压保证了离子的检测灵敏度，同时高气压条件下的质量分析器可以保证正常的质量分辨能力，因而在极小的真空负载下同时保证了质谱仪的性能不受影响，尤其适合用于微型化和便携式质谱仪。 |
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