| 一种以氦微滴为载体的样品测试装置 |
| CN201910196772.X 2019-3-2 发明申请 |
| 2019-7-16 |
| 本发明涉及新材料研发领域，一种以氦微滴为载体的样品测试装置，包括低温容器、低温输液管、真空腔、脉冲阀、真空泵I、样品靶、分流器I、激光器、掺杂炉、分流器II、荧光光谱仪、四极杆质谱、探测器、真空泵II、脉冲阀电源和计算机，采用脉冲氦微滴作为待测样品的载体，采用脉冲氦微滴源，氦微滴的密度较高，且能够与脉冲激光同步，激光熔融产生的样品微粒的嵌入氦微滴的几率较大，而且，氦微滴源采用喇叭形喷嘴来喷射氦微滴，能够发射密度较高的氦微滴，以减少喷嘴内壁与束流之间的碰撞，使得氦微滴束流的强度较高，利于待测样品的微粒的嵌入氦微滴。 |
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