| 紧凑的质量光谱仪 |
| WOGB14051637 2014-5-29 发明申请 |
| 2014-12-4 |
| 一微型质量光谱仪是本发明公开了一种包括一个大气压力电离源(701),第第一真空室具有一个大气压力取样孔或毛细管,第二真空室位于下游的第一真空室和一第三真空室位于下游的第二真空室。一种第一的真空泵(707)被设置和适于泵第一真空室,其中第一的真空泵(707)被设置和适于保持第一真空室在一个压力<10毫巴。一种第一的RF离子导(702)是位于内第一真空室。离子检测器(705)是位于第三真空室中。所述的离子路径长度从所述大气压力采样口或毛细管以一个离子检测该离子检测器的表面(705)是MM≤400。所述massspectrometer还包括一个分流涡轮分子真空泵(706)包括一个中间或级间端口连接到第二真空室和一种高真空(“HV”)端口连接到第三真空室。第一的真空泵(707)是还设置和适于用作背衬真空泵到该分离流涡轮分子真空(泵浦706)。第一的真空泵具有一最大泵送速度≤10m3/小时(2.78L/秒)。 |