| 透射电子显微镜和使用透射电子显微镜的检查方法 |
| WOJP19017938 2019-4-26 发明申请 |
| 2020-10-29 |
| 本发明提供一种透射电镜，其能够获得空心锥暗场图像，并且能够直观地显示其照射条件。 透射电镜具备：照射部，其对试样照射电子束； 物镜，用于使透射通过样品的电子束形成图像； 用于偏转电子束的电子束偏转器，所述电子束偏转器的位置高于放置样品的位置，物镜可移动孔，用于仅使透射通过样品的电子束的一部分通过，以及偏转线圈控制单元。 偏转线圈控制单元使用电子束偏转器控制电子束的偏转角，使得当电子束以进动方式移动时，电子束以相对于光轴的预定角度照射样品，并且使得偏转线圈控制单元控制电子束的偏转角。 只有当电子束透射通过样品时产生的衍射波和/或散射波中具有所需角度的衍射波和/或散射波通过物镜可移动孔径。 |
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