| 一种离子束调节装置、离子光学系统及二次离子质谱仪 |
| CN201610466740.3 2016-6-23 发明申请 |
| 2016-8-31 |
| 本发明公开了一种离子束调节装置、离子光学系统及二次离子质谱仪，包括：至少两个级联的多级杆及驱动模块；相邻两个多级杆之间存在预设距离；驱动模块分别与各多级杆电连接；各多级杆包括至少四个电极；在与多级杆的横截面垂直的方向上，组成多级杆的各电极沿同一圆周均匀排列，且各多级杆分别围成的各圆周的圆心的投影相互重合；通过驱动模块分别对各多级杆的各电极施加电信号，调整入射至级联的多级杆中的离子束的飞行方向和相位，控制离子束始终沿着所需光轴运动，消除离子在飞行过程中产生的离子光学像差，实现小离子束斑直径，保证离子束的传输效率，使离子束在轰击到样品表面时，束斑密度均匀，同时可实现二次离子质谱的样品清理功能。 |
微信公众号