| 一种高精度检漏装置 |
| CN201822131485.4 2018-12-19 实用新型 |
| 2019-7-5 |
| 本实用新型公开了一种高精度检漏装置，包括真空箱，所述真空箱为柜式结构，内部放置待检工件，并与抽空装置、检漏装置、控制系统均通过管道连接，并在管道上设有真空阀门，所述抽空装置包括罗茨泵组，对真空箱进行初级抽空至真空度小于10Pa；所述检漏装置为氦质谱检漏仪，检测待检工件的泄漏率；所述控制系统，一方面与真空阀门连接用于控制对真空箱的抽空，另一方面还连接了检漏装置，用于实时监测其测得的泄漏率；所述抽空装置还包括了分子泵组，并与真空箱连接，用于对真空箱进行深度抽空至真空度小于10?3Pa。本实用新型采用罗茨泵组对真空箱进行初级抽空，之后切换为分子泵对真空箱进行深度抽空，大大提高了检漏精度并达到－11Pam3/s。 |
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