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质谱用等离子体发生器组件

US15897663 2018-2-15 发明申请

2018-8-23

用于质谱仪的等离子体单元使用保持在微波腔内的微波耦合介电环产生等离子体，该微波耦合介电环使用质谱仪结构的一部分来限定微波腔，从而允许等离子体和等离子体电离样品材料更接近质谱仪孔径。