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等离子体发生装置,发射分析装置和质谱仪
WOJP18025680 2018-7-6 发明申请
2019-6-20
本发明的等离子体发生装置具备等离子体炬,感应线圈和电介质体。 等离子焊炬的等离子气体供给管的前端部插入到卷绕的感应线圈中。 介电体配置在等离子体气体供给管和感应线圈之间。 因此,可以在等离子体发生装置中增加等离子体气体供应管13附近的电荷量。 因此,在不改变对感应线圈14的供电的情况下,能够增大感应线圈14产生的静电场,并且能够充分地产生等离子体。
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