| 用于通用型激光剥蚀等离子体质谱仪样品池中的样品托盘 |
| CN201610761548.7 2016-8-30 发明申请 |
| 2016-12-7 |
| 本发明提供一种用于通用型激光剥蚀等离子体质谱仪样品池中的样品托盘,托盘成圆盘状,托盘限定了顶面和底面,顶面开设有两对称设置的样品靶,样品靶向内凹陷成圆孔但不穿过底面,样品靶顶部设有两对称设置的弧形凸延,弧形凸延上表面与托盘顶面平齐,托盘侧部圆周面上还设置有凹槽。本发明放置于激光剥蚀等离子体质谱仪的样品池内,适用于激光剥蚀系统样品池中样品的固定,通过减小样品池体积,稳定气流方向,使样品检测更精确;同时,减少载气体在样品池形成的漩涡现象,载气体使用量明显减少,并加快了样品池清洗时间,从而达到快速精准的检测分析效果。 |