产业专利数据
 
一种树脂包埋样品
 
JP2018201207  2018-10-25  发明申请
2019-5-30
 
  [a]当用电子束照射样品时，在树脂中嵌入污染沉积物，保持高分辨率观察。 [溶液]将物体嵌入固化树脂中，将树脂样品嵌入固化树脂中，使树脂固化，升温速率从室温升至200℃20℃/min。 当温度，由质谱仪的质量荷电比m/z=41或42检测到时，固化树脂每1mg，5×10-11以下，样品也被嵌入树脂中。 图1[附图]
 
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