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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于防止光信号强度降低装置、光发射光谱仪、光学仪器和包括该装置的质谱仪

US13293265 2011-11-10 发明授权

2015-5-5

提供了一种用于防止光信号强度降低的装置的装置、光发射光谱仪、光学仪器和包括该装置的质谱仪。用于防止强度降低的装置包括屏蔽滤波器，该屏蔽滤波器具有能够阻挡从等离子体场辐射的RF电磁波用于晶片处理的网状结构，安装在用于从等离子体场的发射光谱图像测量等离子体场的光学发射光谱仪的光学窗口的前面，并且收集通过该网状结构的带电粒子。