| 混合极紫外成像光谱仪 |
| US15226307 2016-8-2 发明申请 |
| 2017-3-2 |
| 一种混合极紫外成像光谱仪，包括 : 辐射源，用于 : 产生极紫外辐射； 使样品经受EUV辐射； 光电离所述样品的多个原子； 并且响应于经受EUV辐射的样品，从经受EUV辐射的原子形成光离子，光离子从样品解吸； 检测光离子的离子检测器 : 在样品经受EUV辐射之后，作为光离子到达离子检测器的时间的函数； 或者作为光电离子在离子检测器处的位置的函数； 电子源，用于 : 产生多个一次电子； 使样品经受初级电子； 以及响应于样品经受初级电子而从样品形成散射电子； 以及电子检测器，用于检测散射电子 : 作为样品经受EUV辐射或初级电子之后散射电子到达电子检测器的时间的函数； 或者作为电子探测器处散射电子的位置的函数。 |
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