一种用于样品室的光学物镜对准支架,安装在支架上的具有电子通孔的光反射镜,以及包括该支架的相关光和具有光谱学的电子显微镜
 
KR1020190047245  2019-4-23  发明授权

2020-10-22
 
  提供了一种光学物镜对准安装件,以允许穿过具有四棱锥形状的通孔的微对准穿过光学透镜对准安装件,同时保持真空。 本发明提供了一种用于光电子聚变显微镜的样品室的光学物镜对准支架,其通过形成具有矩形形状的四棱锥形底面和阴极发光光谱路径单元45而使光反射表面的开口面积最小化。 光学显微镜系统和光谱仪可以围绕通孔镜布置,以分析从样品产生或反射的光的波长。
 
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