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一种高性能轴向电子冲击离子源

KR1020170176040 2017-12-20 发明授权

2019-5-28

高性能轴向电子冲击离子源更具体地说，公开了残余气体质量分析器(RGA)，色度(GCMS)离子质量分析器如接枝的E TOE气体，能够有效聚焦轴向电子冲击电离效率的扫描器和离子束，并且包括离子WON质量分析器。