| 一种真空计测量薄膜气体渗透率的装置和方法 |
| CN201510915889.0 2015-12-10 发明申请 |
| 2016-5-4 |
| 本发明公开了一种真空计测量薄膜气体渗透率的装置和方法，解决现有质谱仪渗透率测试系统存在的成本的问题以及压力传感器法测量系统存在的灵敏度低的问题。本发明的装置包括气源和高真空泵，所述气源经管道和减压阀连通有气体室，所述气体室连通有用于放置被测薄膜的渗透室，所述渗透室配设有渗透室加热器，所述渗透室连通有测量室，所述测量室配设有测量室加热器，所述测量室连接有真空规，所述真空规连接有真空计；所述高真空泵经真空阀A与测量室连通，所述高真空泵还经真空阀B和气体室连通，所述高真空泵经低真空阀连通有低真空泵。 |
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