使用氟催化的改进的SIMS光谱测定技术
 
EP17199168  2017-10-30  发明申请

2019-5-1
 
  一种进行二次离子质谱分析的方法,包括 : -在样品架上提供样品; -使用离子束照射所述样品表面的区域,由此产生烧蚀的样品材料; -在质量分析器中收集所述烧蚀材料的离子化组分,并根据种类将其分类,还包括 : -在所述辐照期间,在所述样品表面的所述区域附近提供催化气体,所述气体包含氟原子。 所述催化气体可以例如包括其中至少一些氢原子被氟原子例如全氟烷烃取代的气相烃。
 
仿站