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质谱分析装置及制造方法
CN201811601897.8 2018-12-26 发明申请
2019-4-26
本发明提供了一种质谱分析装置及制造方法,所述质谱分析装置包括大气敞开式离子源、质谱进样口;导电单元,所述导电单元设置在所述离子源和样品之间,并接地;所述导电单元的中心轴线与所述离子源喷口的中心轴线共线;所述离子源出射的等离子体经过所述导电单元后轰击样品,所述质谱进样口的中心轴线与轰击点共线。本发明具有结构简单、装配准确、应用范围广等优点。
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