| 一种基于原子力显微镜的光路集成结构 |
| CN202010743487.8 2020-7-29 发明申请 |
| 2020-10-16 |
| 一种基于原子力显微镜的光路集成结构，包括：基板，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板上用于放置待测物；激光发生组件，设置在基板上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板上用于将激光发生组件产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元；探测器单元，设置在所述基板上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置。本发明的有益效果在于，本发明的结构通过双反射镜精准定位，定位精度可达纳米级，载物台组件和探针调节器可实现对探针的移动控制更加细微精确，省去大量光路调节时间，使得实验效率得到提升。 |
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