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微反射的飞行时间质谱仪
IL217930 2012-2-5 发明申请
2012-6-28
微反射器具有的电位梯度施加单元,例如电阻层(5400),基板体积中施加电位梯度形成飞行区的离子例如管(3300),其中微反射器具有厚度小于5,其它尺寸小于厚度的10倍。该单元包括电阻材料制成的壁,金属之间被极化的极化电极(5210)以产生连续电位梯度,同时提供反射功能。区域,所述电极和所述壁是通过微机电系统技术领域。独立权利要求也包括用于如下 : (1)质谱仪(2)用于微反射器制造方法。
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