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离子转移管流量与泵系统负荷
US16015525 2018-6-22 发明申请
2018-10-18
质谱仪系统可包括离子源、真空室; 真空室内的质量分析器、离子源和真空室之间的转移管、转移管加热器和真空泵。 质谱仪系统可被配置成响应于接收到传送管交换指令而降低真空泵的泵速度; 将所述传送管的温度降低到低于第一阈值; 以降低的泵速度操作真空泵,同时用第二传送管替换传送管; 将所述第二传送管加热到高于泵下温度的温度; 以及在第二传送管的温度超过第二阈值之后增加真空泵的泵速度。
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