| 飞行时间二次离子质谱仪中电流施加电压的测量机构 |
| JP2014174138 2014-8-28 发明授权 |
| 2019-2-20 |
| 所要解决的问题 : 提供一种飞行时间型二次离子质谱(TOF-SIMS)装置中的电流和电压压痕测量机构，用于共同完成电流和电压压痕测量和元素分析映射。 一种TOF-SIMS设备中的电流和电压压痕测量机构，其配备有具有两个电极和至少用于固定样品的固定构件10a和10b的样品保持器以及用于执行电流和电压压痕测试的电流和电压测量装置2， 并且被配置为共同完成用TOF-SIMS进行TOF-SIMS测量，用电流和电压测量装置在样品上施加电流和电压，以及测量伴随在样品上施加电流和电压的电特性。选择的附图 : 图2 |
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