ICP装置,谱仪和质谱仪
 
KR1020130071401  2013-6-21  发明申请

2014-1-6
 
  [目的]显著地减少所消耗的气体等离子体的ICP装置提供了一个。[构成]是单独从等离子体炬,具有孔产生的等离子体盐尖端端,其具有一高度,被设置到所述外侧金属蕾到等离子体炬和罩盖的所述的圆筒,罩盖具有一内表面邻接等离子体炬的高压力的冷凝器被提供具有一间隙部形成外管表面的所述的等离子体引入气体用于修复一种有源矩阵衬底,结构和修复的流动路径的气体导入机构与光与所述的ICP装置。
 
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