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萤光显微镜检查系统、装置及方法
TW109103847 2020-2-7 发明申请
2020-10-16
本发明揭示一种萤光显微镜检查系统其包含能够发射引起一样本发萤光之光及不引起一样本发萤光之光的光源。导引该发射光穿过一或多个滤波器及物镜通道而朝向一样本。一环状灯光使光透过一暗场通道来依一斜角投射向该样本。该等滤波器之一者可修改该光以匹配与该样本相关联之一预定带隙能量且另一滤波器可过滤自该样本反射至一摄影机之光之波长。该摄影机可自该接收光产生一影像且可对该影像执行样本分类及特征分析。
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