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integratred微波源和等离子炬和相关方法
GB1402069 2014-2-7 发明申请
2014-3-26
等离子体用于产生微波诱导等离子体源包括等离子体炬集成有微波能量源。焊炬建立气体流动路径的,从等离子体源的一侧到另一侧。焊炬可集成微波能量源,使得等离子体形成气体流动通过焊炬进行微波辐射,负责启动和/或维持等离子体炬中。该等离子体可从焊炬和利用喷出各种应用(包括使用等离子体,包含分析技术,例如光学发射光谱法和质谱分析。
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