气体输送系统用于质量光谱仪反应和碰撞单元
 
WOIB11000363  2011-2-22  发明申请

2011-9-1
 
  一个气体输送系统用于一基于小区的质量光谱仪包括一个质量流控制器具有一个输入耦合到一个气体源。一个三个双向阀包括一个输入耦合到所述质量流量控制器的输出,一个第一的输出耦合以一真空系统,和一第二正常输出耦合到一反应或碰撞电池。一个小区是位于所述质量光谱仪,其中的一个真空室第二的输出所述三个双向阀被耦合到所述电池的入口和所述质量流量控制器提供了一种气体到所述电池增加一个小区内的压力相对于所述真空室中所述的压力。
 
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