| 减少质谱仪中中性污染的装置和方法 |
| WOIB18054874 2018-6-29 发明申请 |
| 2019-1-17 |
| 提供了用于控制包含在质谱仪系统的高真空室中的部件的污染的装置和方法。 所述设备和方法使用以逆流配置注入到来自电离室的进入粒子流中的中性气体束。 反向流动可以在直接相反的反向流动方向(例如180度)上，或者以与进入的离子流成交叉流动角度(例如以大约10度到170度之间的角度流动)。 反向流动在中性分子和其它不希望的污染物到达光谱仪的高真空级(例如超过IQ0孔)之前中断轴向气流并使它们转向。 通过减少污染物向质谱仪内部深处的敏感部件的传输，本发明可以提高吞吐量，改善鲁棒性，和/或减少排放/拆卸/清洁污染部件通常所需的停机时间。 |
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