| 多焦点的分光测定装置，和变焦光学系统的分光测定装置 |
| EP16743549 2016-1-29 发明申请 |
| 2018-1-24 |
| 本发明提供一种多焦点质谱装置可同时进行多个样品的测量，灵敏度高，不限制在所述倍率。一种多焦点分光测定装置10的装置，其中光束信号发射的光从多个预定样品中的样品上观察区域接受载置部(样品保持器(13)被引入到光谱仪，从而分散成光谱，所述装置包括 : 多个物镜聚光物镜(部)(111)分别位于位置的光学面多个观察区域；和光谱仪的输入部分(151)以这样一种方式构成 : 每个所述多个物镜(111)一个输入部(151)对应的光谱仪，用于将信号光通过物镜111进入光谱仪(17)。由于每只需要观察一个观察区中的物镜(111)，所述可同时提高倍率的数值孔径NA。由此，收集到的光的量的比例与物镜(111)的整个量的信号灯在观察区域内从样品S发射变高，且测量精度也高。 |
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