| 二次离子质谱仪及其控制方法 |
| KR1020170142115 2017-10-30 发明授权 |
| 2019-1-9 |
| 根据一个实施例的二次离子质量分析器，样品室覆盖延迟部延迟部并用于支撑多个端口； 并且设置在所述寄存器之一上，所述样品产生朝向所述离子束发生器照射的离子束； 所述多个端口设置在所述上侧，从所述样品发射的所述离子束被所述样品空间飞行二次离子飞行次数[...]照射，所述样品空间飞行二次离子飞行次数[...]大于所述样品空间飞行二次离子飞行次数[...]。 通道； 所述通道飞行二次离子飞行二次离子探测器检测； [..] 通过产生所述外围空间的等离子体，所述样品上的所述离子束可以补偿积累在等离子体产生部分中的电荷。 |
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