| 改进的带电粒子检测器 |
| AU2017203761 2017-6-2 发明申请 |
| 2018-12-20 |
| 摘要本发明提供了一种装置，用于检测带电粒子，该装置包括能量转换配置成发射一个或更多二次电子倍增电极时的冲击颗粒，电子倍增器经配置以形成放大的电子信号而输出从所述一个或更多二次电子发射的高能转换电子倍增器电极，所述电子倍增器具有相对较低的灵敏度部段和较高的灵敏度。该装置中使用的应用，如ICP质谱分析。高能量转换电子倍增器电极的3-HV(a)HV低增益输出ouadrupole(analogue)栅段高增益的高增益输出级uadrupole(digital)inputapertureu偶联。电容器-GND XPIC-HV lowgain+低压段倍增电极GND图1 |
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