成像光谱仪
 
US15632959  2017-6-26  发明申请

2017-10-19
 
  一种极紫外成像光谱仪,包括 : 辐射源,用于 : 产生极紫外辐射; 使样品经受EUV辐射; 光电离所述样品的多个原子; 以及从受EUV辐射光电离的原子形成光离子,光离子响应于受EUV辐射的样品而从样品场蒸发; 和检测光电离子的离子检测器 : 在样品经受EUV辐射之后,光电离子到达离子检测器的时间的函数; 或者作为光电离子在离子检测器处的位置的函数。
 
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