| 一种可定性定量分析真空系统中残留物的装置 |
| CN201820719719.4 2018-5-15 实用新型 |
| 2018-12-7 |
| 本实用新型涉及真空监测技术领域，尤其涉及一种可定性定量分析真空系统中残留物的装置，包括待测真空系统、真空截止阀、第一和第二真空电磁阀、气体缓冲室、气源、采样泵、色谱仪和质谱仪，所述待测真空系统和气体缓冲室通过真空截止阀实现连通或截止，所述气源和气体缓冲室通过第一真空电磁阀实现气体的连通或截止，所述色谱仪和气体缓冲室通过第二真空电磁阀连通或截止。本实用新型突破了现有的质谱残留气体分析技术无法分析复杂成分有机残留物的重大缺陷，进而可实现对复杂成分的有机物进行准确的定性和定量分析。通过标准样品实验测试，实验表明，其可对真空系统中含有38种有机化合物的混合气体进行准确的定性和定量分析。 |
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