| 原子力显微镜 |
| CN202020055141.4 2020-1-10 实用新型 |
| 2020-10-9 |
| 本实用新型公开一种原子力显微镜，该显微镜包含有一光发射器、一聚光透镜、一检测件、及一光检测装置。光发射器能朝向所述聚光透镜发出一光线，以使光线穿过聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在光线穿过聚光透镜后于检测件反射，而后能被光检测装置接收。检测件能检测一待测物的表面轮廓，并且光检测装置能在接收光线后产生相对应的电流值，进而使原子力显微镜能呈现待测物的表面轮廓。因此，本实用新型的原子力显微镜能有效地缩小其体积、缩小光线的光路所涵盖的空间以使光路不容易受环境影响、并且还能简单化光检测装置的计算系统。 |
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