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产业专利数据

质谱仪

US14611682 2015-2-2 发明授权

2016-6-14

质谱仪系统可以包括真空歧管和高真空泵。真空歧管可包括前线室和高真空室。前线室可以具有源入口、前线入口和前线出口。高真空泵可具有连接到高真空室的真空端口和连接到前线入口的前线端口。