| 质量分析可变的出口孔径 |
| WOUS12000258 2012-5-24 发明申请 |
| 2012-11-29 |
| 一种方法和装置被提供用于减少不需要的离子注入的同位素物质从一个离子束线。这里公开的所述装置是一个质量分析可变出口孔径，其选择性地降低了所述出口的尺寸孔径为看到通过一个离子束。在一个实施例中，所述可变质量分析出口是位于所述质量分析仪内的一位置处的上游一个分辨孔和被配置以有效地限制所述出口孔的尺寸以允许期望的通道注入同位素(s)，同时防止所不希望的注入同位素的通道。在一个特定实施例中，所述质量分析可变出口孔径是安装在所述光束导向，其中，在匝; 被安装在所述AMU的磁铁(S极)。一个机械驱动机构使所述阻塞结构，以在一刻度的方式被移动到光束路径作为引导通过一控制单元连接到波束特性。 |
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