| 一种用于显微镜的实时自动对焦系统 |
| CN202020330686.1 2020-3-16 实用新型 |
| 2020-10-2 |
| 本实用新型公开了一种用于显微镜的实时自动对焦系统。该系统包括红外光源模块、偏移透镜光路模块、检测模块和对焦控制模块，其中，所述红外光源模块用于发射平行激光光束；所述偏移透镜光路模块将所述红外光源模块出射的平行激光光束扩束为发散光，并通过显微镜物镜照射样品界面，以使照射在样品反射界面处的激光衍射光斑形成彗星形像差；所述检测模块将样品界面反射形成的彗差形衍射光斑调制为线型光斑并通过对该线型光斑分析获得当前视场下显微系统的离焦量相关信息；所述对焦控制模块基于获得的离焦量相关信息迭代控制显微镜物镜的轴向运动，直至离焦量满足设定目标。本实用新型的系统能够实现显微系统的高精度实时性地对焦。 |
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