| 所述真空泵和所述质谱仪 |
| JP2015102903 2015-5-20 发明申请 |
| 2016-12-22 |
| 多个真空泵的吸气端口和排气性能[A]。真空泵1[a]，第二涡轮分子泵级(1)上设置第第二吸气口1的上游，第一下游的涡轮分子泵级(1)，第第二吸气口2‘]连通，包括，艏第一的螺旋定子60]1，2，一个或多个第二通孔相通的螺旋槽(60)的吸入口，(60)从外周表面的内周表面的螺旋定子1从而形成穿过，通孔(60)上形成有螺旋槽601℃，601D，601e所述凹槽的形状，所述通孔(60)上形成有螺纹槽不601，601B，以及601]F[-601]H与凹槽形状，凹槽形状被设定为大于流率，适合。图[图4] |
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