| 扫描电子显微镜 |
| JP2019544101 2017-9-29 发明申请 |
| 2020-10-1 |
| 将还原法应用于扫描电子显微镜中，以检测由BSESE3激发的量，用扫描电子显微镜检测样品上出现的能量选择函数SE1。 (21)由电子源产生的辐照电子束， 用聚焦电子光学系统照射的样品的物镜(12)， 设置在光轴上的光学系统， 用电子检测器产生的信号用电子束(13)照射样品， 用于形成偏转器偏转场的电子检测器(26)引入信号， 偏转场的电子源侧， 照射具有使电子束通过的开口的盘状电极(23)， 偏转场控制电极沿光轴朝向样品比具有，样品和物镜的参考电位，参考电位低于圆盘形电极施加的电位，控制电极施加的电位高于参考电位。 |
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