| 陀螺仪 |
| JP2017050201 2017-3-15 发明申请 |
| 2018-10-4 |
| 所述高Q因子[A]，制造时结构对称性好，象限陀螺仪的误差。[技术方案]该连接单元，X到X-Y平面内的第一质量第一质量的1和2的方向移动任何机械连接到MS2(Ms1)。该连接单元，位于质量块1和第二锚固定在基板(1)ACR，将会有第一梭子MS1，其MS2质谱(2)和位于梭第一和第二之间的OSH ACR锚2，ACR1共1连接梭ISH锚梁第一和第二，ACR和2连接第一和第二梭的OSH锚梁2，质量1的第一和第二连接到梁1上的梭3，将会MS1，ms2第二质量的2和4将第一纵梁2的OSH梭，第一梭和梭ISH梁上设置的OSH1，2，5与第一。图[图5] |
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