| 集成，微型质谱仪 |
| PL41965016 2016-12-1 发明申请 |
| 2018-1-3 |
| 本发明是一种采用MEMS技术制作的集成微型质谱仪，旨在在10-5-10-7hPa量级的高真空下操作，对各种物质的化学成分进行高精度分析。 集成微型质谱仪具有所有部件共享的玻璃基板(6)和玻璃盖 : 上(7A)和下(7B)， 与玻璃基板(6)连接，并由硅框(8)相互密封，作为一个芯片， 其中，在玻璃衬底(6)和盖(7a，7b)中设置部分刻蚀或通孔，从而区分出后续的腔和区域 : 微泵腔(5)，分配器区(1)，气体离子发生器腔(2)，离子分离器腔(3)和探测器区(4)，在微泵腔(5)中，玻璃衬底(6)上表面连接硅微泵阳极(25)，具有上盖的微泵阳极(7a)，与微泵阳极(25)和玻璃衬底(6)具有同心通孔，形成由微泵阴极(24)两侧封闭的空间； 在玻璃衬底(6)中的微泵腔(5)和气体电离器腔(2)之间，制作一微通道(9a)； 在气体电离器室(2)中，玻璃基板(6)通过上表面连接到栅极(14)， 和上盖栅(7a)，下表面玻璃基板(6)连接排斥电极(16)，下盖排斥电极(7b)，在这个盖室中，上(7a)和下(7b)，栅(14)，玻璃基板(6)和排斥电极(16)具有同心通孔，形成自上封闭的电离器阴极(12)和自下置的电离器阳极(15)的空间，分配器微通道(1)进入电离器室(2)； 然后，在玻璃衬底(6)中的电离器室(2)和分离器室(3)之间制造微通道二(9b)； 在隔膜腔(3)中，沿所述腔室运行并相对于其轴线对称地依次连接到具有纵向隔膜通道的玻璃衬底(6)上 : 插入电极组件(17)和硅电极，Zana Koencu Komory Separatora(3)Znajduje Sidetektor(4)W Postaci Co Najmniej Jednej Elektrody Przywuczonej do Co Najmniej Górnej Powierzchni Podvoa Szklanego(6)，Przez Którpodvoe Szklane(6)Wczy Siz Pokrywgórn(7a)Lub Doln(7b)。 |
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