| 集成，微型质谱仪 |
| PL41965116 2016-12-1 发明申请 |
| 2018-1-3 |
| Przedmiote wynalazku jest-zintegrowany，ministanowaymetr mas，wykonany z zastosowaniem technike MEMS，preznaczzzzony poryjnej分析skaádemicznego rónegro ránegro róch ráno ráno j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j j 光谱仪具有所有部件共享的玻璃基板(6)和玻璃盖 : 上上下下， 与玻璃基板(6)连接，并由硅框(8)相互密封，作为一个芯片， 其中，在玻璃基板(6)和盖板中设置部分刻蚀或通孔，从而区分出后续的室和区 : 微泵室(5)，分配器区(1)，气体离子发生器室(2)，离子分离器室(3)，探测器区(4)，在微泵室(5)中，玻璃基板(6)上表面连接微泵硅阳极，上盖微泵阳极与微泵阳极，玻璃基板(6)具有同心通孔，形成双侧由微泵阴极封闭的空间； 在玻璃衬底(6)中的微泵腔(5)和气体电离器腔(2)之间，制作一微通道； 在气体电离器室中，玻璃基板(6)具有蚀刻的电离器通道， 并且，在所述腔轴上的玻璃基板(6)的至少上表面上连接有电离器的阴极， 至少具有施加发射材料层的顶部(12a)， 在电离器通道的两侧，垂直于其轴线对称地，与玻璃基板(6)的至少上表面连接栅极对，至少上(14a)，然后是阳极电极对，至少上(15a)，然后是第一势垒电极对，至少上(16a)，然后是两对释放电极，至少上(18a)，在同一侧面的释放电极相互连接，后面是第二对势垒电极，至少上(16a)，与电离器室(2)连接的分配器微通道(1)； 然后，在玻璃衬底(6)中的电离器室(2)和分离器室(3)之间制造微通道二； 在用于玻璃基板(6)的隔板室(3)中，posiadj‘cego podg’kalejánoáno(spütrodwprozajjüczzonaj) |
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