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具有可拆卸柱的扫描电子显微镜及使用该显微镜的图像获取方法

WOKR20002488 2020-2-27 发明申请

2020-10-1

根据本发明的扫描电子显微镜能够将柱从样品安装单元上拆卸下来，从而通过更换整个柱来解决与柱相关的问题，例如与柱相关的简单校准，束的未对准，耗材的更换等。因此，本实用新型的扫描电镜具有维修和维护简单容易的优点。