用于电感耦合等离子体质谱仪的等离子体锥,电感耦合等离子体质谱仪和方法用于制造等离子体用电感耦合等离子体质谱仪
 
WOJP17046971  2017-12-27  发明申请

2018-9-13
 
  一种取样圆锥(14)和分离器锥体(16)作为等离子体的锥形接口部分的一部分电感耦合等离子体质谱仪具有 : 基材(141),(161)形成铜,镍等;和被覆膜(142),(162)的表面上形成的基材(141),(161)。该被覆膜(142),(162)由铂,铂以外的铂族金属,金,或这些的合金。此外,该被覆膜(142),(162)用离子镀法或等离子体CVD形成方法。本发明从而提供了一种等离子锥,所述等离子体电感耦合等离子体质谱仪,其包括锥,与等离子体锥及其制造方法,它可以减少杂质的背景,也提高耐用性,而不牺牲灵敏度(离子强度)。
 
仿站