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透射电子显微镜的控制方法及透射电子显微镜

EP20165301 2020-3-24 发明申请

2020-9-30

一种控制透射电子显微镜(1000)的方法，包括：使第一磁场透镜(10)产生第一磁场，并使第二磁场透镜(20)产生第二磁场；使磁场施加单元在样品安装表面(2)上产生沿着光轴(L)的方向的磁场；以及改变第一激励线圈(12)和第二激励线圈(22)的激励，以校正由于磁场施加单元(30)产生的磁场引起的物镜(100)焦距的偏差。