| 一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置 |
| CN202010749226.7 2020-7-30 发明申请 |
| 2020-9-29 |
| 本发明公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，由密封腔、阀门机构、动力机构和承载托架组成，密封腔包括固定底板、转移装置腔体、密封条、密封盖板，阀门机构用于对密封腔抽真空，动力机构用于开闭密封盖板，固定底板与密封盖板之间设有导柱，承载托架上设有样品钉放置孔，并水平安装在密封盖板后侧面的上部，承载托架的上表面与转移装置腔体的内壁顶部之间仅存在细微的间距。本发明体积小巧，结构简单，真空密封性好，可靠度高，非常适用于狭小空间的小型化扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和小型扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了小型化扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。 |
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