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电感耦合等离子体质谱仪的氩气回收系统

WOIB18051152 2018-2-23 发明申请

2018-8-30

可回收氩的系统和方法的某些结构中使用的感应耦合等离子体质谱仪进行了描述。在一些构型中，该系统可以包括两个或多个分离的级，每级可去除杂质从流体流，其包含氩气。在某些情况下，基本上纯氩气回收利用系统和方法，与基本上纯氩气中可重复使用电感耦合等离子体质谱仪。