| 离子光学装置及质谱仪 |
| WOCN15088841 2015-9-2 发明申请 |
| 2016-3-10 |
| 离子光学装置和质谱仪被提供。该离子光学装置包括至少一个平面的绝缘 基板(101)上覆盖有金属图案，以形成一电极阵列包括多个电池电极(1011)， 其中每个所述电池电极(1011)根据第一方向上排列形成几何图案分布 所述电极阵列， 所述电池电极(1011)施加射频(RF)电压具有不同的相位，以限制离子， 直流(DC)电压梯度施加沿电池电极的至少一部分(1011)在电极 阵列，来驱动第一中的离子移动方向沿所述电极阵列， 和对应的电场分布所形成的几何图案分布以驱使离子中移动 第二方向大致正交的第一方向，从而实现离子偏转，聚焦或散焦。 各种期望的空间形成的电场分布几何结构和分布的平面电极， 和实施， 电池电极具有各种平面的几何形状印制的PCB板或MEMS工艺， 它提供了一种成本低的优点，精度高，灵活性高。 |
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