| 等离子体-质谱分析系统 |
| CN201721923765.8 2017-12-30 实用新型 |
| 2018-8-14 |
| 本实用新型提供了一种等离子体?质谱分析系统,所述等离子体?质谱分析系统包括质谱分析仪、真空单元;矩管,所述矩管的出口竖直向上;取样锥,所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上;第一阀门,所述第一阀门设置在所述离子出射方向上,且处于所述取样锥的下游;离子偏转单元,所述离子偏转单元设置在离子出射方向上,且处于第一阀门的下游,经过所述离子偏转单元后,离子偏转角度α;第二阀门,所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。本实用新型具有检测精度高等优点。 |